பரம் – என்றால் கடைசி என்பது பொருள்.
சிவம் – என்றால் அசையாதது அல்லது அழிவில்லாதது என்பது பொருள்.
ஆகவே பரமசிவம் என்றால் கடைசியாக இருக்கும் அசையாத அறிவில்லாத பொருள் என்று பொருள்படும்.
ஆகவே சுத்தவெளி, மெய்ப்பொருள், பிரம்மன் , பரமபிதா என பல பெயர்களால் அழைக்கப்படும்